Z6尊龙凯时（以下简称“Z6尊龙凯时上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商，今天颁发旗下洗濯设备产品Ultra C Tahoe获得沉要机能突破 。这次提升可能满足更先进的晶圆代工、逻辑器件及存储器件的严格技术要求 。
Ultra C Tahoe的专利混合架构率先实现将槽式洗濯？楹偷テг蚕村惶褰岷系酵骋籗PM设备中 。该架构具备更强的洗濯机能、更高的产能和更好的工艺矫捷性 。在中低温硫酸 (SPM)洗濯工艺中，Ultra C Tahoe能够达到独立单片晶圆洗濯设备的成效，并可削减高达75%的化学品亏损 。据Z6尊龙凯时上海估算，仅硫酸一项每年就可节俭高达50万美元的成本，且在硫酸废液处置上可进一步降低成本并对环境更敦睦 。
Z6尊龙凯时上海董事长王晖博士暗示：“随着人为智能不休走近消费者生涯，我们预计公家会越来越关注半导体芯片造作对环境传染的影响 。我们相信，Z6尊龙凯时上海的Ultra C Tahoe可能援手客户提高先进人为智能芯片的产量，同时削减对环境的影响 。”
“Z6尊龙凯时上海占有一支富有创造力的研发团队，Ultra C Tahoe再次见证了该团队的优异阐发 。我们相信，Tahoe平台齐全有能力在约占整个洗濯市场20%份额的SPM中低温利用领域占据沉要职位 。
中国大陆多家大型晶圆厂客户已将升级后的Ultra C Tahoe投入出产 。多家其他逻辑器件和存储器客户在对该设备进行评估，预计更多设备将在2024年底之前交付 。
