Z6尊龙凯时

Z6尊龙凯时上海进军PECVD市场，支持逻辑和存储芯片造作

2022/12/13 15:23:53

Z6尊龙凯时

    Z6尊龙凯时(以下简称“Z6尊龙凯时上海”)（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，今天颁发推出占有自主知识产权的Ultra Pmax等离子体加强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个沉要的全新产品分类。Z6尊龙凯时上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。

    Z6尊龙凯时上海首席执行官王坚暗示：“Ultra Pmax PECVD设备的推出，标志取我们在前路半导体利用中进一步扩大到了全新的工艺领域。我们有好多客户是28纳米及以上的逻辑器件供给商。我们预测到了成熟工艺节点产能的增长，由于中国市场的成熟工艺节点产能显著供不应求。这款PECVD设备，使Z6尊龙凯时上海在满足全球先进逻辑和存储芯片市场需要的同时，也将更好地服务于全球客户。我们预测，这次推出的PECVD设备，及上个月颁布的前路涂胶显影设备Ultra Lith，这两个全新的产品系列将使我们全球可服务市场规模翻倍增长。”

    Ultra Pmax PECVD设备配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，可能提供更好的薄膜均匀性，更幼的薄膜应力和更少的颗粒个性。该设备选取单腔体？榛杓，有两种配置：一种是能够配置一至三腔体？，适合极薄膜层或急剧工艺步骤 ；另一种是能够配置四至五腔体？，在优化产能的同时，支持厚膜沉积以及更长的工艺功夫。以上两种配置中，每个腔体都装置有多个加热卡盘，以优化工艺节造并提高产能。
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